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公开(公告)号：CN102555415B
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201110455547.7
申请日：2011-12-30
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开一种机床测量用光栅尺保护膜的涂覆方法，该方法是用辊涂的方式在转移薄膜上涂覆保护膜，用刮刀控制厚度，以张紧力控制保护膜的均匀性，将转移薄膜上的保护膜的进行预固化，以提高其粘度，便于其向光栅线槽中填充；然后采用辊压的方式将保护膜与光栅尺表面贴合并填充到光栅线纹凹槽处，在辊压的线接触前，用真空泵降低待接触部位附近的气压，便于保护膜的填充，待保护膜填充完成后，对转移有保护膜的光栅尺进行充分曝光，确保保护膜结构固定，最后将转移薄膜剥离。本发明方法具有高效率、低成本、可实现连续转移等优点。
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公开(公告)号：CN102193310B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201110126114.7
申请日：2011-05-17
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种机床测量用光栅两步固化辊压印成型方法，该方法包括：1)光栅尺胚基材涂覆紫外光固化胶层；2)在辊筒形模具表面制备出具有母光栅结构的辊压模具，作对准标记；对辊压模具表面抛光、低表面能处理；3)在光栅尺胚基材的胶层上覆柔性薄膜，一次曝光，薄膜剥离；4)对光栅尺胚基材的对准标记和辊压模具表面的对准标记图像采集对比，调节、校准；5)将辊压模具与光栅尺胚贴合，施压印力，辊压模具表面的母光栅结构复型在基材表面的胶层上；6)复型后的紫外光固化胶层进行二次曝光；7)光栅尺收集封装。本发明所需压印力小，避免了基材的变形和应力集中。该方法生产效率高，可实现大面积、高线数机床测量用光栅尺的批量制造。
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公开(公告)号：CN102566260A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110455884.6
申请日：2011-12-30
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开一种超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法，包括以下步骤：1)选择辊压模具，2)辊压模具清洗，3)辊压模具表面涂胶，4)辊压模具前烘处理，5)辊压模具的固定，6)掩膜版的选取和调整，7)曝光。本发明采用曝光拼接的旋转曝光技术，将掩膜版上的光栅微结构图形转移至辊压模具表层的光刻胶上面，显影过后，辊压模具表面形成一层光栅结构图形化掩蔽层，再利用刻蚀或者电铸的方法，将此图形化掩蔽层复制到辊压模具表面上；运用此模具，可以利用辊压印或者逆辊压印的方法，将此表面的光栅微结构连续的复制的光栅尺胚上面，实现了超长光栅的连续制造。此种方法对外部环境要求较低，生产效率高，从而有效降低光栅尺的制造成本。
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公开(公告)号：CN102555415A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110455547.7
申请日：2011-12-30
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开一种机床测量用光栅尺保护膜的涂覆方法，该方法是用辊涂的方式在转移薄膜上涂覆保护膜，用刮刀控制厚度，以张紧力控制保护膜的均匀性，将转移薄膜上的保护膜的进行预固化，以提高其粘度，便于其向光栅线槽中填充；然后采用辊压的方式将保护膜与光栅尺表面贴合并填充到光栅线纹凹槽处，在辊压的线接触前，用真空泵降低待接触部位附近的气压，便于保护膜的填充，待保护膜填充完成后，对转移有保护膜的光栅尺进行充分曝光，确保保护膜结构固定，最后将转移薄膜剥离。本发明方法具有高效率、低成本、可实现连续转移等优点。
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公开(公告)号：CN102193310A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110126114.7
申请日：2011-05-17
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明公开了一种机床测量用光栅两步固化辊压印成型方法，该方法包括：1)光栅尺胚基材涂覆紫外光固化胶层；2)在辊筒形模具表面制备出具有母光栅结构的辊压模具，作对准标记；对辊压模具表面抛光、低表面能处理；3)在光栅尺胚基材的胶层上覆柔性薄膜，一次曝光，薄膜剥离；4)对光栅尺胚基材的对准标记和辊压模具表面的对准标记图像采集对比，调节、校准；5)将辊压模具与光栅尺胚贴合，施压印力，辊压模具表面的母光栅结构复型在基材表面的胶层上；6)复型后的紫外光固化胶层进行二次曝光；7)光栅尺收集封装。本发明所需压印力小，避免了基材的变形和应力集中。该方法生产效率高，可实现大面积、高线数机床测量用光栅尺的批量制造。
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