发明授权
- 专利标题： 凸轮式盘状物夹持装置
- 专利标题（英）： Cam-type disc clamping device
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申请号： CN201210004761.5申请日： 2012-01-09
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公开(公告)号： CN102593033B公开(公告)日： 2014-11-19
- 发明人: 凯里·雷 , 贾星杰 , 吴仪 , 王波雷 , 张豹
- 申请人： 北京七星华创电子股份有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 专利权人： 北京七星华创电子股份有限公司
- 当前专利权人： 北京硅元科电微电子技术有限责任公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层
- 代理机构： 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 韩国胜; 王莹
- 主分类号： H01L21/687
- IPC分类号： H01L21/687 ; H01L21/683
摘要：
本发明涉及集成电路技术领域，具体公开了一种凸轮式盘状物夹持装置，包括：凸轮；卡盘，其下方中心与所述凸轮连接；夹持机构，均设置在所述卡盘上，包括L型延长杆，所述延长杆一端伸入进卡盘中并与凸轮圆周接触，另一端朝向上方且安装有用于夹持盘状物的夹持件。本发明能够方便快捷的实现对盘状物的夹持，且本装置结构简单、成本低廉、易于实现。
公开/授权文献
- CN102593033A 凸轮式盘状物夹持装置 公开/授权日：2012-07-18
IPC分类:
