- 专利标题: 具有水平准同轴电缆结构的隧穿晶体管及其形成方法
- 专利标题(英): Tunneling transistor with horizontal quasi coaxial cable structure and forming method thereof
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申请号: CN201210035782.3申请日: 2012-02-16
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公开(公告)号: CN102593177A公开(公告)日: 2012-07-18
- 发明人: 崔宁 , 梁仁荣 , 王敬 , 许军
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区100084-82信箱
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区100084-82信箱
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 张大威
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/10 ; H01L21/336
摘要:
本发明提供一种具有水平准同轴电缆结构的隧穿晶体管及其形成方法,该隧穿晶体管包括:具有第一掺杂类型的半导体衬底,所述半导体衬底为源区或漏区;形成在所述半导体衬底上的沟道区,其中,所述半导体衬底上未形成所述沟道区的区域形成有绝缘层;形成在所述沟道区和绝缘层上的具有第二掺杂类型的漏区或源区,所述漏区或源区的第一部分包覆所述沟道区的第一部分;形成在所述漏区或源区的第一部分上的栅结构,所述栅结构包覆所述漏区或源区的第一部分。根据本发明实施例的隧穿晶体管可以改善TFET器件的驱动能力。
公开/授权文献
- CN102593177B 具有水平准同轴电缆结构的隧穿晶体管及其形成方法 公开/授权日:2014-06-11
IPC分类: