发明授权
- 专利标题: 一种基于双频干涉的面型测量装置及方法
- 专利标题(英): Surface type measuring device and method based on double-frequency interference
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申请号: CN201110040790.2申请日: 2011-02-18
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公开(公告)号: CN102645179B公开(公告)日: 2015-01-21
- 发明人: 肖鹏飞 , 张志平 , 张晓文 , 任胜伟 , 池峰 , 陈勇辉
- 申请人: 上海微电子装备有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张东路1525号
- 专利权人: 上海微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张东路1525号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24 ; G02B27/28 ; G02B26/10
摘要:
本发明涉及一种基于双频干涉的面型测量装置和方法。本发明的核心思路为:激光器发出偏振态垂直、频率不同的参考光和测量光,利用分光干涉单元以及扫描单元得到具有被测镜信息的干涉光信号;面型绘制单元接收上述干涉光信号并得到被测点的形貌数据;扫描单元中的反射镜能够旋转、被测镜承载台能够运动,使得面型绘制单元能够得到被测镜上多个点的形貌数据及位置数据,进而能够进行被测镜的面型绘制。本发明的优点是:测量精度高、抗干扰能力强,对整个装置本身的要求降低;信号处理的难度相对很低;装置制造成本低,光学部件的面型测量成本降低。
公开/授权文献
- CN102645179A 一种基于双频干涉的面型测量装置及方法 公开/授权日:2012-08-22