一种基于双频干涉的面型测量装置及方法
摘要:
本发明涉及一种基于双频干涉的面型测量装置和方法。本发明的核心思路为:激光器发出偏振态垂直、频率不同的参考光和测量光,利用分光干涉单元以及扫描单元得到具有被测镜信息的干涉光信号;面型绘制单元接收上述干涉光信号并得到被测点的形貌数据;扫描单元中的反射镜能够旋转、被测镜承载台能够运动,使得面型绘制单元能够得到被测镜上多个点的形貌数据及位置数据,进而能够进行被测镜的面型绘制。本发明的优点是:测量精度高、抗干扰能力强,对整个装置本身的要求降低;信号处理的难度相对很低;装置制造成本低,光学部件的面型测量成本降低。
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