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公开(公告)号：CN104142123A
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201310168047.4
申请日：2013-05-08
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 本发明属于激光精密测量技术，具体涉及一种应用于机械设备几何误差测量的三自由度激光测量系统。所述系统包括分光镜组、偏振分光镜组、运动反光镜组和固定反光镜组。本发明提供的技术方案基于双频激光干涉，可以同时测量3个物理量，其中1个位移量，2个旋转量，可以极大的缩短检测时间，提高检测效率，并且其可溯源性强，传感头为无源器件，不会引入热干扰，不需要电缆输出信号，进而消除热干扰导致的误差。同时，它针对特定的需求，成本适中，精度高，具备很强的应用性和市场价值，可以适用于各种复杂的机械设备，比如发动机，挖掘机，发电机，机车和数控机床等。
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公开(公告)号：CN102128588B
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201010022988.3
申请日：2010-01-19
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供了一种一体式双频激光干涉仪，其主要包括：主偏振分光体，入射偏振分光体，出射偏振分光体。还进一步包括光程补偿板、二分之一波片、第一角锥棱镜、四分之一波片、第二角锥棱镜以及反射四分之一波片结构。本发明的参考光路和测量光路完全分离，理论上由干涉仪分光不彻底导致的非线性误差为零，本发明的参考光路和测量光路完全相等，理论上讲，其温度漂移为零，其有单光束输入，单光束输出，具备比较高的有效光学效率，并且适应目前的通用的激光干涉测量系统，其为一体式，相较于传统的分离式干涉仪，其具备很强的抗环境干扰能力，以及良好的工业现场适应能力。
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公开(公告)号：CN102545015A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010619285.9
申请日：2010-12-31
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 一种双频激光器，包括单频激光器、第一偏振分光棱镜、第一驱动器、第一声光器件、第二偏振分光棱镜、第二驱动器、第二声光器件以及扩束镜；所述第一驱动器向所述第一声光器件发出频率为fs1的第一驱动信号，所述第二驱动器向所述第二声光器件发出频率为fs2的第二驱动信号，使得所述第一和第二声光器件分别形成一个布拉格光栅；所述单频激光器发出的频率为f0的激光经由所述第一偏振分光棱镜分为偏振态相互垂直的两束，第一束入射至所述第一声光器件，输出频率为f0+fs1的光，第二束入射至所述第二声光器件，输出频率为f0+fs2的光，从所述第一和第二声光器件出射的光经由所述第二偏振分光棱镜合束后经由所述扩束镜输出，输出光的频率之差为fs1-fs2。
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公开(公告)号：CN101586941B
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN200910051049.9
申请日：2009-05-12
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提出一种低非线性误差与低温漂双频激光干涉装置，包括第一偏振分光棱镜；第二偏振分光棱镜，位于所述第一偏振分光棱镜的透射光的光路上；第三偏振分光棱镜，位于所述第一偏振分光棱镜的反射光的光路上；第一四分之一波片，所述第二偏振分光棱镜位于所述第一四分之一波片和所述第一偏振分光棱镜之间；至少一个第一角锥棱镜，并排放置于所述第二偏振分光棱镜的一侧；第二四分之一波片，位于所述第三偏振分光棱镜的一侧，本发明采用多个偏振分光棱镜级联，并且测量光路和参考光路在干涉装置内部等光程，所以不但具有极低的非线性误差，而且温度漂移也比较低。
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公开(公告)号：CN102645179A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201110040790.2
申请日：2011-02-18
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明涉及一种基于双频干涉的面型测量装置和方法。本发明的核心思路为：激光器发出偏振态垂直、频率不同的参考光和测量光，利用分光干涉单元以及扫描单元得到具有被测镜信息的干涉光信号；面型绘制单元接收上述干涉光信号并得到被测点的形貌数据；扫描单元中的反射镜能够旋转、被测镜承载台能够运动，使得面型绘制单元能够得到被测镜上多个点的形貌数据及位置数据，进而能够进行被测镜的面型绘制。本发明的优点是：测量精度高、抗干扰能力强，对整个装置本身的要求降低；信号处理的难度相对很低；装置制造成本低，光学部件的面型测量成本降低。
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公开(公告)号：CN102564613A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201010619284.4
申请日：2010-12-31
申请人： 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G01J9/02
摘要： 本发明提出一种波长跟踪器，包括：一单轴干涉仪，实时检测波长变化；一标准腔，由相距一定距离的反射镜组成，为测试光线提供一光程；以及一底板，所述单轴干涉仪及所述标准腔固定于底板上形成一个整体；所述底板热膨胀系数接近于零，以保证所述底板上的所有光学元件的相对几何距离稳定。本发明提供的波长跟踪器，可同时对空气折射率变化和激光器本身参数变化引起的波长变化进行跟踪测量，同时还具有结构简单、装调难度低、测量分辨率高等优点。
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公开(公告)号：CN102128588A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201010022988.3
申请日：2010-01-19
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供了一种一体式双频激光干涉仪，其主要包括：主偏振分光体，入射偏振分光体，出射偏振分光体。还进一步包括光程补偿板、二分之一波片、第一角锥棱镜、四分之一波片、第二角锥棱镜以及反射四分之一波片结构。本发明的参考光路和测量光路完全分离，理论上由干涉仪分光不彻底导致的非线性误差为零，本发明的参考光路和测量光路完全相等，理论上讲，其温度漂移为零，其有单光束输入，单光束输出，具备比较高的有效光学效率，并且适应目前的通用的激光干涉测量系统，其为一体式，相较于传统的分离式干涉仪，其具备很强的抗环境干扰能力，以及良好的工业现场适应能力。
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公开(公告)号：CN101598530A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200910053243.0
申请日：2009-06-17
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提出一种双频激光干涉仪装置。双频激光干涉仪装置包括分光组件以及第一承载装置。分光组件包括偏振分光棱镜、第一四分之一波片以及第二四分之一波片。其中，第一四分之一波片设置于偏振分光棱镜的透射光方向，第二四分之一波片设置于偏振分光棱镜的反射光方向。偏振分光棱镜、第一四分之一波片以及第二四分之一波片结合为一体，构成分光组件。第一承载装置，用于承载分光组件。第一承载装置具有第一接口与第二接口。本发明提供的双频激光干涉仪装置，其主体部分为一体式，极大的简化了装配难度，降低对机械加工件的精度要求，节约了成本。而且其结构简单，光学件装配也相对方便，参考光路和测量光路对称，温度漂移也很低。
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公开(公告)号：CN103424069B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201210159463.3
申请日：2012-05-22
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明公开一种用于多几何误差量测量的光学装置，该光学装置由一干涉光学镜组和一反射光学镜组构成，该干涉光学镜组包括：第一光学单元，用于测量位移X及角度Rx，Ry，Rz；第二光学单元，用于测量直线度?Y和测量直线度?Z；基座组件，用于与该第一、第二光学单元连接；该反射镜组用于将来自该干涉光学镜组的光束原路返回且与入射光分开一定距离。本发明同时公开一种双频激光干涉测量系统和一种用于多几何误差量测量的光学方法。
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公开(公告)号：CN102692195B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201110068311.8
申请日：2011-03-21
申请人： 上海微电子装备有限公司
摘要： 本发明提供一种转角测量装置，应用于被测目标的转角和转速测量，包括偏心装置和测量系统，所述偏心装置有反射膜，固定安装在所述被测目标上，与所述被测目标同轴旋转；所述测量系统位于所述偏心装置一侧，通过测量所述偏心装置靠近所述测量系统一侧的位移计算得到所述被测目标的转角或转速。本发明的转角测量装置结构简单，安装方便快捷，通过测量所述偏心装置靠近所述测量系统一侧的直线位移来实现被测目标转角的间接测量，数据处理量小和算法简单，实现了连续的360°转角测量和高速主轴的转速测量。
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