一种多芯片对准方法和装置
摘要:
本发明提出了一种多芯片对准方法和装置,将方形芯片置于模具中,模具提供限制芯片移动的边界,通过离心力使芯片紧靠模具实现对准,最后夹紧转移。该装置包括底板和压板,压板的上表面连接吸盘,吸盘的中心开有第一通孔,第一通孔连接空心杆;底板的上表面固接有开有方孔的模具,底板的下表面放置于托盘上;托盘中心处开有第二通孔,第二通孔连接空心轴的上端,空心轴的上端开有气孔,空心轴的下端连接电机;空心轴置于真空腔内,在空心轴侧壁开气孔与真空腔相通。本发明结构简单,操作方便,效率高,在三维封装、光电集成等领域有广泛应用。
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