发明授权
- 专利标题: 一种多芯片对准方法和装置
- 专利标题(英): Multi-chip alignment method and device thereof
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申请号: CN201210091897.4申请日: 2012-03-31
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公开(公告)号: CN102664159B公开(公告)日: 2014-09-24
- 发明人: 陈明祥 , 吕亚平
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 李智
- 主分类号: H01L21/68
- IPC分类号: H01L21/68
摘要:
本发明提出了一种多芯片对准方法和装置,将方形芯片置于模具中,模具提供限制芯片移动的边界,通过离心力使芯片紧靠模具实现对准,最后夹紧转移。该装置包括底板和压板,压板的上表面连接吸盘,吸盘的中心开有第一通孔,第一通孔连接空心杆;底板的上表面固接有开有方孔的模具,底板的下表面放置于托盘上;托盘中心处开有第二通孔,第二通孔连接空心轴的上端,空心轴的上端开有气孔,空心轴的下端连接电机;空心轴置于真空腔内,在空心轴侧壁开气孔与真空腔相通。本发明结构简单,操作方便,效率高,在三维封装、光电集成等领域有广泛应用。
公开/授权文献
- CN102664159A 一种多芯片对准方法和装置 公开/授权日:2012-09-12
IPC分类: