发明授权
- 专利标题： MEMS建模系统及方法
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申请号： CN201210034332.2申请日： 2012-02-15
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公开(公告)号： CN102682151B公开(公告)日： 2015-11-18
- 发明人: 陈东村 , 彭永州 , 黄睿政
- 申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址： 中国台湾新竹
- 专利权人： 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人： 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址： 中国台湾新竹
- 代理机构： 北京德恒律师事务所
- 代理商 陆鑫; 房岭梅
- 优先权： 13/029,942 2011.02.17 US
- 主分类号： G06F17/50
- IPC分类号： G06F17/50
摘要：
本发明公开了一种对微机电器件进行建模的系统和方法。一个实施例包括将微机电设计分成独立的区域，并且将该独立的区域分别进行建模。可以在独立的模型中使用参数化参数或者参数方程。上述独立的模型可以结合到MEMS器件模型中。可以对该MEMS器件模型进行测试和校准，然后，该MEMS器件可以用于对微机电器件的新设计进行建模。
公开/授权文献
- CN102682151A MEMS建模系统及方法 公开/授权日：2012-09-19
