发明公开
CN102712994A 汽化装置及其控制方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 汽化装置及其控制方法
- 专利标题(英): Vaporization apparatus and method for controlling the same
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申请号: CN201080060061.7申请日: 2010-12-24
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公开(公告)号: CN102712994A公开(公告)日: 2012-10-03
- 发明人: 徐承彻 , 孔斗源 , 李锺夏 , 李璟范 , 郑成在 , 赵晃新
- 申请人: 韩商SNU精密股份有限公司
- 申请人地址: 韩国首尔
- 专利权人: 韩商SNU精密股份有限公司
- 当前专利权人: 韩商SNU精密股份有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国首尔
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 胡林岭
- 优先权: 10-2009-0135890 2009.12.31 KR
- 国际申请: PCT/KR2010/009316 2010.12.24
- 国际公布: WO2011/081368 EN 2011.07.07
- 进入国家日期: 2012-06-29
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24
摘要:
本发明揭示一种汽化装置及其控制方法,包含:汽化坩埚(vaporization crucible),用以容置原料;汽化加热单元,用以藉由加热所述汽化坩埚而汽化所述原料;温度量测单元,用以量测所述汽化坩埚的温度;功率量测单元,用以量测所述汽化加热单元的施加功率;以及控制单元,用以根据所述温度量测单元的温度变化值与所述功率量测单元的功率变化值其中之任一者,控制所述原料的汽化量。所述汽化装置使用非接触式/电子方法,所述非接触式/电子方法藉由原料的汽化期间的温度变化值与功率变化值而量测汽化量。因此,因不同于接触式方法,汽化量量测单元并不直接接触原料气体,故可供应各种原料并可达成大量原料供应或长时间原料供应而不会使功能劣化。另外,因所述电子方法能够精确地量测汽化量,故可提高原料供应的精确度。
公开/授权文献
- CN102712994B 汽化装置及其控制方法 公开/授权日:2014-08-20