公开(公告)号：CN102712994B

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN201080060061.7

申请日：2010-12-24

申请人： 韩商SNU精密股份有限公司

发明人： 徐承彻 ,  孔斗源 ,  李锺夏 ,  李璟范 ,  郑成在 ,  赵晃新

IPC分类号： C23C14/24

CPC分类号： C23C16/4485 ,  B01D1/0017 ,  B01D1/0082 ,  C23C14/24 ,  C23C14/543 ,  C23C16/52

摘要： 本发明揭示一种汽化装置及其控制方法，包含：汽化坩埚（vaporization crucible），用以容置原料；汽化加热单元，用以藉由加热所述汽化坩埚而汽化所述原料；温度量测单元，用以量测所述汽化坩埚的温度；功率量测单元，用以量测所述汽化加热单元的施加功率；以及控制单元，用以根据所述温度量测单元的温度变化值与所述功率量测单元的功率变化值其中之任一者，控制所述原料的汽化量。所述汽化装置使用非接触式/电子方法，所述非接触式/电子方法藉由原料的汽化期间的温度变化值与功率变化值而量测汽化量。因此，因不同于接触式方法，汽化量量测单元并不直接接触原料气体，故可供应各种原料并可达成大量原料供应或长时间原料供应而不会使功能劣化。另外，因所述电子方法能够精确地量测汽化量，故可提高原料供应的精确度。

公开(公告)号：CN102712994A

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN201080060061.7

申请日：2010-12-24

申请人： 韩商SNU精密股份有限公司

发明人： 徐承彻 ,  孔斗源 ,  李锺夏 ,  李璟范 ,  郑成在 ,  赵晃新

IPC分类号： C23C14/24

CPC分类号： C23C16/4485 ,  B01D1/0017 ,  B01D1/0082 ,  C23C14/24 ,  C23C14/543 ,  C23C16/52

摘要： 本发明揭示一种汽化装置及其控制方法，包含：汽化坩埚（vaporization crucible），用以容置原料；汽化加热单元，用以藉由加热所述汽化坩埚而汽化所述原料；温度量测单元，用以量测所述汽化坩埚的温度；功率量测单元，用以量测所述汽化加热单元的施加功率；以及控制单元，用以根据所述温度量测单元的温度变化值与所述功率量测单元的功率变化值其中之任一者，控制所述原料的汽化量。所述汽化装置使用非接触式/电子方法，所述非接触式/电子方法藉由原料的汽化期间的温度变化值与功率变化值而量测汽化量。因此，因不同于接触式方法，汽化量量测单元并不直接接触原料气体，故可供应各种原料并可达成大量原料供应或长时间原料供应而不会使功能劣化。另外，因所述电子方法能够精确地量测汽化量，故可提高原料供应的精确度。