本发明提供热处理装置，其具备：反应管，其沿第一方向延伸；支承体，其收容于上述反应管内，并可沿着上述第一方向多层地支承多张基板；多条气体供给管，它们以沿着上述第一方向隔开间隔地排列的方式设置于上述反应管的侧面，并向上述反应管的内部供给气体；板状部件，其配置于上述反应管内的、上述多条气体供给管的开口端与收容于上述反应管内的上述支承体之间，并设置有与上述多条气体供给管分别对应的多个开口部；以及加热部，其配置于上述反应管的外侧。