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公开(公告)号：CN102751216B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210111840.6
申请日：2012-04-16
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/67 , C23C16/44 , C23C16/455
CPC分类号： H01L21/67109 , C23C16/303 , C23C16/45563 , C23C16/46 , H01L21/67017
摘要： 本发明提供热处理装置，其具备：反应管，其沿第一方向延伸；支承体，其收容于上述反应管内，并可沿着上述第一方向多层地支承多张基板；多条气体供给管，它们以沿着上述第一方向隔开间隔地排列的方式设置于上述反应管的侧面，并向上述反应管的内部供给气体；板状部件，其配置于上述反应管内的、上述多条气体供给管的开口端与收容于上述反应管内的上述支承体之间，并设置有与上述多条气体供给管分别对应的多个开口部；以及加热部，其配置于上述反应管的外侧。
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公开(公告)号：CN102751216A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201210111840.6
申请日：2012-04-16
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/67 , C23C16/44 , C23C16/455
CPC分类号： H01L21/67109 , C23C16/303 , C23C16/45563 , C23C16/46 , H01L21/67017
摘要： 本发明提供热处理装置，其具备：反应管，其沿第一方向延伸；支承体，其收容于上述反应管内，并可沿着上述第一方向多层地支承多张基板；多条气体供给管，它们以沿着上述第一方向隔开间隔地排列的方式设置于上述反应管的侧面，并向上述反应管的内部供给气体；板状部件，其配置于上述反应管内的、上述多条气体供给管的开口端与收容于上述反应管内的上述支承体之间，并设置有与上述多条气体供给管分别对应的多个开口部；以及加热部，其配置于上述反应管的外侧。
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公开(公告)号：CN101162686B
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200710152463.X
申请日：2007-10-12
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/22 , H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/324 , H01L21/67 , C23C16/00 , F27B17/00
摘要： 本发明提供一种热处理装置，其特征在于，包括：处理容器，其下部具有炉口，并且具有用于收容被处理体且能够在减压状态下对该被处理体进行规定热处理的石英制容器主体；金属制盖体，其用于载置搭载有多个被处理体的保持件并相对于处理容器对该保持件进行搬入、搬出，同时进行炉口的关闭、开放；和环状的气密部件，其被设置在该盖体上的周缘部，用于密封与处理容器的炉口之间，其中，在所述盖体上设置有接触限制部件，该接触限制部件用于限制因处理容器内为减压状态时所述气密部件在盖体与炉口之间压坏而引起的盖体与炉口的接触。
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公开(公告)号：CN101162686A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：CN200710152463.X
申请日：2007-10-12
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/22 , H01L21/205 , H01L21/31 , H01L21/324 , H01L21/67 , C23C16/00 , F27B17/00
摘要： 本发明提供一种热处理装置，其特征在于，包括：处理容器，其下部具有炉口，并且具有用于收容被处理体且能够在减压状态下对该被处理体进行规定热处理的石英制容器主体；金属制盖体，其用于载置搭载有多个被处理体的保持件并相对于处理容器对该保持件进行搬入、搬出，同时进行炉口的关闭、开放；和环状的气密部件，其被设置在该盖体上的周缘部，用于密封与处理容器的炉口之间，其中，在所述盖体上设置有接触限制部件，该接触限制部件用于限制因处理容器内为减压状态时所述气密部件在盖体与炉口之间压坏而引起的盖体与炉口的接触。
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公开(公告)号：CN301118020D
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200830143287.9
申请日：2008-09-25
申请人： 东京毅力科创株式会社
设计人： 高桥清彦
摘要： 右视图与左视图对称，故省略右视图；仰视图与俯视图对称，故省
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