发明公开
- 专利标题: 组合激光器和带电粒子束系统
- 专利标题(英): Combination laser and charged particle beam system
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申请号: CN201180016692.3申请日: 2011-04-07
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公开(公告)号: CN102812533A公开(公告)日: 2012-12-05
- 发明人: M.斯特劳 , M.W.乌特劳特 , N.W.帕克
- 申请人: FEI公司
- 申请人地址: 美国俄勒冈州
- 专利权人: FEI公司
- 当前专利权人: FEI公司
- 当前专利权人地址: 美国俄勒冈州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 刘金凤; 李浩
- 优先权: 61/321,539 2010.04.07 US
- 国际申请: PCT/US2011/031644 2011.04.07
- 国际公布: WO2011/127327 EN 2011.10.13
- 进入国家日期: 2012-09-28
- 主分类号: H01J37/08
- IPC分类号: H01J37/08 ; H01J37/06 ; H01J37/244
摘要:
一种组合激光器和带电粒子束系统。脉冲激光使得能够以比针对聚焦离子束的可能的材料去除速率大几个数量级的材料去除速率实现样本的铣削。在某些实施例中,扫描电子显微镜使得能够在激光处理期间实现样本的高分辨率成像。在某些实施例中,聚焦离子束使得能够实现样本的更精确铣削。用于在激光铣削期间将成像检测器去激活的方法和结构使得能够去除由于检测器饱和而引起的成像伪像,所述检测器饱和是由于由激光束产生的等离子体羽流。在某些实施例中,采用两种类型的检测器:类型1检测器在用电子或离子束进行样本的扫描期间提供高增益成像,而类型2检测器使得能够在激光铣削期间实现较低增益的成像和端点检测。
公开/授权文献
- CN102812533B 组合激光器和带电粒子束系统 公开/授权日:2015-12-02