- 专利标题: 单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的表面波纹度控制方法
- 专利标题(英): Control method of surface waviness of large-size optical element processed through single point diamond milling method
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申请号: CN201210361416.7申请日: 2012-09-25
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公开(公告)号: CN102837367A公开(公告)日: 2012-12-26
- 发明人: 梁迎春 , 陈万群 , 孙雅洲 , 张强 , 刘海涛 , 孙阳 , 陈国达 , 苏浩
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 黑龙江先研院发展有限公司
- 当前专利权人地址: 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷大街288号深圳(哈尔滨)产业园区科创总部2号楼东门1楼666室
- 代理机构: 哈尔滨市松花江专利商标事务所
- 代理商 张果瑞
- 主分类号: B28D1/18
- IPC分类号: B28D1/18
摘要:
单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的表面波纹度控制方法,属于大尺寸脆性光学元件超精密加工领域,本发明为解决现有的SPDT法在加工大尺寸光学元件时波纹度误差、频域评价指标PSD1难以保证的问题。本发明该方法包括:一:粗加工;二:获取纵向条纹的空间周期T;三:判断加工机床的刚度,刚度过低,执行四;刚度过高,执行五;四:增大横梁与调平垫体之间的平均压力,然后执行六;五:减小横梁与调平垫体之间的平均压力或接触刚度,然后执行六;六:二次超精密加工,七:重新检测PSD1值,八:判断PSD1≤15nm2·mm是否成立;不成立,返回二;成立,完成单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件U的波纹度误差及频域指标PSD1的控制。
公开/授权文献
- CN102837367B 单点金刚石铣削法加工大尺寸光学元件的表面波纹度控制方法 公开/授权日:2014-10-29