发明公开
CN102864414A 一种制备具有金字塔结构的Fe薄膜的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种制备具有金字塔结构的Fe薄膜的方法
- 专利标题(英): Method for preparing Fe film with pyramid structure
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申请号: CN201210397968.3申请日: 2012-10-18
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公开(公告)号: CN102864414A公开(公告)日: 2013-01-09
- 发明人: 陈敏 , 陈弟虎 , 何振辉 , 莫康信
- 申请人: 中山大学
- 申请人地址: 广东省广州市海珠区新港西路135号中山大学,物理科学与工程技术学院
- 专利权人: 中山大学
- 当前专利权人: 中山大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市海珠区新港西路135号中山大学,物理科学与工程技术学院
- 代理机构: 广州新诺专利商标事务所有限公司
- 代理商 张玲春
- 主分类号: C23C14/14
- IPC分类号: C23C14/14 ; C23C14/35
摘要:
本发明公开了一种制备具有金字塔结构的Fe薄膜的方法。该方法包括:步骤(1):选择高纯金属铁靶(纯度99.99%)作为溅射靶材,将靶材放入磁控溅射室;步骤(2):对该单晶硅衬底依次用丙酮、酒精和去离子水超声清洗,将处理后的单晶硅衬底放入磁控溅射室样品台;步骤(3):工作气体是氩气,调节溅射气压、励磁电流、溅射电流以及样品台的旋转速率,经过一定的时间溅射制备Fe薄膜。本发明在没有施加直流偏置电压的条件下,通过适当控制溅射氩气气压、励磁电流、溅射电流等条件,在单晶硅基片上制备出具有金字塔结构的Fe薄膜。本发明在单晶硅片上制备金字塔结构的Fe薄膜,制造过程简单,有广阔的产业化前景。
公开/授权文献
- CN102864414B 一种制备具有金字塔结构的Fe薄膜的方法 公开/授权日:2014-04-02
IPC分类: