发明公开
CN102881722A 源场板异质结场效应晶体管及其制作方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 源场板异质结场效应晶体管及其制作方法
- 专利标题(英): Source-field-plate heterojunction field-effect transistor and manufacturing method thereof
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申请号: CN201210418868.4申请日: 2012-10-26
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公开(公告)号: CN102881722A公开(公告)日: 2013-01-16
- 发明人: 郝跃 , 张凯 , 马晓华 , 陈永和 , 曹梦逸
- 申请人: 西安电子科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人: 西安电子科技大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市太白南路2号
- 代理机构: 陕西电子工业专利中心
- 代理商 王品华; 朱红星
- 主分类号: H01L29/778
- IPC分类号: H01L29/778 ; H01L29/423 ; H01L21/335
摘要:
本发明公开了一种源场板异质结场效应晶体管及制作方法,主要解决现有场板技术击穿电压低、功率增益小的问题。该器件包括衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、漏极(5)、钝化层(6)、Γ栅(8)和保护层(11),钝化层(6)上开有凹槽(7),Γ栅(8)一部分位于凹槽(7)内,其余部分位于钝化层(6)上部;Γ栅(8)与漏极(5)之间的钝化层(6)上设有一个源场板(9)以及n个浮置金属场板(10),源场板(9)与源极(4)相连,这些浮置金属场板长度相同,场板间的间距相同;Γ栅(8)、源场板(9)和n个浮置金属场板(10)经同一次金属淀积工艺完成,形成源场板异质结场效应晶体管。本发明具有击穿电压高,栅漏反馈电容小,功率增益高,工艺简单的优点,适用于高频、大功率III-V族化合物微波功率器件。
IPC分类: