发明公开
- 专利标题: 抛光装置
- 专利标题(英): Polishing apparatus
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申请号: CN201210398644.1申请日: 2008-12-02
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公开(公告)号: CN102941522A公开(公告)日: 2013-02-27
- 发明人: 高桥圭瑞 , 关正也 , 草宏明 , 山口健二 , 中西正行
- 申请人: 株式会社荏原制作所
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 株式会社荏原制作所
- 当前专利权人: 株式会社荏原制作所
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 蔡洪贵
- 优先权: 2007-312724 2007.12.03 JP; 2008-292193 2008.11.14 JP
- 分案原申请号: 2008101833318 2008.12.02
- 主分类号: B24B21/00
- IPC分类号: B24B21/00 ; B24B21/18 ; B24B21/20 ; H01L21/304
摘要:
本发明提供一种用于抛光基片的外周的抛光装置。该抛光装置包括配置成水平地保持基片并转动基片的旋转保持机构、设置在基片周围的多个抛光头组件、配置成将抛光带供给到多个抛光头组件并从多个抛光头组件收回抛光带的多个带供给与收回机构、以及配置成沿旋转保持机构保持的基片的径向方向移动多个抛光头组件的多个移动机构。所述带供给与收回机构沿着基片径向方向设置在多个抛光头组件的外侧,且所述带供给与收回机构被固定在位。
公开/授权文献
- CN102941522B 抛光装置 公开/授权日:2015-04-01