发明授权
- 专利标题: 一种精密定位隔振平台
- 专利标题(英): Precision positioning vibration isolation platform
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申请号: CN201210408833.2申请日: 2012-10-24
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公开(公告)号: CN102943839B公开(公告)日: 2014-05-07
- 发明人: 陈学东 , 李子龙 , 吴文江 , 徐振高
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 武汉格蓝若精密技术有限公司
- 当前专利权人地址: 430205 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷六路88号光谷创新天地B12栋T4单元7层01室
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 曹葆青
- 主分类号: F16F15/02
- IPC分类号: F16F15/02
摘要:
本发明公开了一种定位隔振平台,它包括定位隔振装置和主动控制器,两者之间通过电气连接,主动控制器对定位隔振装置进行位置控制和振动控制。定位隔振装置包括分布在正三角形顶点的三支撑腿及其共同支撑的一块负载平板。每一个支撑腿中有一个螺旋弹簧作为主要支撑部件。一个位移传感器布置在连接板下方检测连接板位移,负载平台对应支撑腿的位置安装有垂向速度传感器。主动控制器为主从开放式结构形式,由上位控制计算机和下位执行控制器组成,保证负载平台保持在设定位置,并有效的隔离地基振动对平台精度的影响。本发明可广泛应用于精密加工、精密测量、光学实验等对平面位置精度有特殊要求的领域。
公开/授权文献
- CN102943839A 一种精密定位隔振平台 公开/授权日:2013-02-27