发明授权
- 专利标题: 用于减少应力的伪倒装芯片凸块
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申请号: CN201110404906.6申请日: 2011-12-07
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公开(公告)号: CN102956590B公开(公告)日: 2015-11-25
- 发明人: 吴胜郁 , 郭庭豪 , 庄其达 , 陈承先
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹
- 代理机构: 北京德恒律师事务所
- 代理商 陆鑫; 房岭梅
- 优先权: 13/211,438 2011.08.17 US
- 主分类号: H01L23/485
- IPC分类号: H01L23/485 ; H01L23/488 ; H01L23/58
摘要:
一种器件包括金属焊盘,该金属焊盘位于衬底上方;钝化层,该钝化层包括位于金属焊盘上方的一部分;钝化后互连件(PPI),该PPI电连接至金属焊盘,其中PPI包括位于金属焊盘和钝化层上方的一部分;聚合物层,该聚合物层位于PPI上方;以及伪凸块,该伪凸块位于聚合物层上方,其中伪凸块与聚合物层下面的导电部件电绝缘。本发明提供用于减少应力的伪倒装芯片凸块。
公开/授权文献
- CN102956590A 用于减少应力的伪倒装芯片凸块 公开/授权日:2013-03-06