Invention Publication
- Patent Title: 微结构保角性转移方法
- Patent Title (English): Conformal microstructure transfer method
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Application No.: CN201210593568.XApplication Date: 2012-12-31
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Publication No.: CN103021818APublication Date: 2013-04-03
- Inventor: 狄增峰 , 郭庆磊 , 张苗 , 魏星 , 薛忠营 , 母志强 , 戴佳赟
- Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Applicant Address: 上海市长宁区长宁路865号
- Assignee: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Current Assignee: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Current Assignee Address: 上海市长宁区长宁路865号
- Agency: 上海光华专利事务所
- Agent 李仪萍
- Main IPC: H01L21/02
- IPC: H01L21/02

Abstract:
本发明提供一种微结构保角性转移方法,至少包括以下步骤:提供一自下而上依次为底层硅、埋氧层及顶层X纳米薄膜的XOI衬底,在所述顶层X纳米薄膜上涂覆哑铃状的光刻胶作为掩膜,进行刻蚀得到哑铃状的微结构;然后利用氢氟酸溶液或者BOE溶液将所述埋氧层进行腐蚀,直至所述微结构中间图形微米带部分完全悬空,且所述两端区域以下仍有部分未被完全腐蚀掉的埋氧层,形成固定结,最后提供一基板与所述微结构相接触,并迅速提起基板以将所述微结构转移到所述基板上。本发明的微结构保角性转移方法利用简易的端点固定图形化设计,对微结构纳米薄膜进行固定,实现完全保角性转移,大大的降低了保角性转移工艺的复杂度,降低了工艺成本。
Public/Granted literature
- CN103021818B 微结构保角性转移方法 Public/Granted day:2016-04-20
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