发明授权
- 专利标题: 使用气体喷嘴从熔化物表面移离板材
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申请号: CN201180031762.2申请日: 2011-03-02
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公开(公告)号: CN103025926B公开(公告)日: 2016-03-30
- 发明人: 彼德·L·凯勒曼 , 葛列格里·D·斯罗森 , 孙大为
- 申请人: 瓦里安半导体设备公司
- 申请人地址: 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
- 专利权人: 瓦里安半导体设备公司
- 当前专利权人: 瓦里安半导体设备公司
- 当前专利权人地址: 美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号
- 代理机构: 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理商 臧建明
- 优先权: 61/332,073 2010.05.06 US; 13/037,789 2011.03.01 US
- 国际申请: PCT/US2011/026790 2011.03.02
- 国际公布: WO2011/139402 EN 2011.11.10
- 进入国家日期: 2012-12-26
- 主分类号: C30B15/06
- IPC分类号: C30B15/06 ; C30B28/10 ; C30B29/06 ; C30B29/52 ; C30B29/64
摘要:
本发明涉及使用气体喷嘴从熔化物表面移离板材。在一个实施例中,一种板材制造装置包括设置为可容纳一种材料的熔化物的容器。冷却板紧邻熔化物安置且设置为可在熔化物上形成所述材料的板材。第一气体喷嘴设置为可将气体导向容器边缘。水平移动位于熔化物表面上的材料板材且自熔化物移离板材。第一气体喷嘴可导向弯液面且可稳定所述弯液面或提高弯液面内的局部压力。
公开/授权文献
- CN103025926A 使用气体喷嘴从熔化物表面移离板材 公开/授权日:2013-04-03