发明授权
- 专利标题： 一种腔室气流控制系统及方法
- 专利标题（英）： Chamber airflow control system and method
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申请号： CN201210556490.4申请日： 2012-12-20
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公开(公告)号： CN103041660B公开(公告)日： 2015-01-21
- 发明人: 张明 , 徐俊成 , 马嘉
- 申请人： 北京七星华创电子股份有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 专利权人： 北京七星华创电子股份有限公司
- 当前专利权人： 北京七星华创电子股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
- 代理机构： 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 王莹
- 主分类号： B01D46/46
- IPC分类号： B01D46/46
摘要：
本发明公开了半导体制造技术领域，特别涉及一种腔室气流控制系统及方法。本发明包括PCC控制器和至少一个腔室控制单元；腔室控制单元包括压力传感器、风机过滤器、和所述风机过滤器连接的状态检测单元、与所述压力传感器、风机过滤器和状态检测单元连接的数据处理单元、和所述数据处理单元连接的数据传输单元。本发明能够对腔室内的气体压力进行实时控制，使得腔室内的气体压力维持在设定值。
公开/授权文献
- CN103041660A 一种腔室气流控制系统及方法 公开/授权日：2013-04-17
IPC分类:
