发明授权
CN103077914B 一种全自动晶粒分选设备及全自动晶粒分选方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种全自动晶粒分选设备及全自动晶粒分选方法
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申请号: CN201310007497.5申请日: 2013-01-09
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公开(公告)号: CN103077914B公开(公告)日: 2015-09-02
- 发明人: 李斌 , 吴涛 , 朱国文 , 龚时华 , 朱文凯 , 贺松平 , 吴磊 , 宋宪振 , 汤瑞 , 尹旭生 , 库卫东
- 申请人: 广东志成华科光电设备有限公司
- 申请人地址: 广东省东莞市松山湖科技产业园区科技九路1号研发楼310室
- 专利权人: 广东志成华科光电设备有限公司
- 当前专利权人: 广东志成华科光电设备有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市松山湖科技产业园区科技九路1号研发楼310室
- 代理机构: 东莞市华南专利商标事务所有限公司
- 代理商 雷利平
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; H01L21/67 ; H01L21/02
摘要:
本发明公开了一种全自动晶粒分选设备及全自动晶粒分选方法,本设备由晶圆工作台、分选工作台、运输传送系统、晶圆工作台推送装置、分选工作台推送装置、摆臂机构、芯片分选料库,上述七个主要部分组成。本发明改善了现有技术中的传统布局与机械结构,在机体平台上提供了一种优选的布局结构,通过运输传送系统将盘片在工作台、推送装置及芯片分选料库三者之间自如进出进行取放,实现了全自动晶粒分选,同时运输传送系统具有两个缓冲区位置,能够减少待分选盘片与分选结束后的盘片之间的交换时间,进而加快晶粒分选时间和效率。本发明具有换片高效、整机小巧、结构紧凑、整机稳定性好、芯片分选料库可扩容性好的特点。
公开/授权文献
- CN103077914A 一种全自动晶粒分选设备及全自动晶粒分选方法 公开/授权日:2013-05-01
IPC分类: