发明公开
- 专利标题: 引出电极系统及狭缝电极
- 专利标题(英): Extraction electrode system and slit electrodes
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申请号: CN201210208305.2申请日: 2012-06-19
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公开(公告)号: CN103094027A公开(公告)日: 2013-05-08
- 发明人: 井内裕 , 谷井正博
- 申请人: 日新离子机器株式会社
- 申请人地址: 日本京都府
- 专利权人: 日新离子机器株式会社
- 当前专利权人: 日新离子机器株式会社
- 当前专利权人地址: 日本京都府
- 代理机构: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
- 代理商 周善来; 李雪春
- 优先权: 2011-238540 2011.10.31 JP
- 主分类号: H01J27/02
- IPC分类号: H01J27/02 ; H01J37/08
摘要:
本发明提供一种引出电极系统及狭缝电极,在具有多个狭缝电极的离子源中,引出电流量和控制性取得平衡的离子束。所述的离子源(1)具有多个狭缝电极(7)~(10)作为引出电极系统。狭缝电极(7)~(10)包括具有开口部(15)的电极框体(14)、以及在开口部(15)内排列设置的多个电极棒(16),在构成沿从离子源(1)发生的离子束(2)的行进方向位于最上游的狭缝电极(7)的电极棒(16)中,在相邻的电极棒(16)之间形成的狭缝状开口部(17)的形状沿着离子束(2)的行进方向呈大致锥台形。
公开/授权文献
- CN103094027B 引出电极系统及狭缝电极 公开/授权日:2015-11-11