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公开(公告)号：CN102683144B
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201110306371.9
申请日：2011-10-11
申请人： 日新离子机器株式会社
摘要： 本发明提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以产生热变形。狭缝电极(1)包括：电极框体(2)，具有开口部(3)；以及多个电极单元(U)，能装拆地安装在电极框体(2)上。各电极单元(U)包括：多根电极棒(5)，并列设置在开口部(3)内；以及一组电极棒支承构件(6)，隔着开口部(3)支承各电极棒(5)的长度方向的端部。
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公开(公告)号：CN109819570B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201810825295.4
申请日：2018-07-25
申请人： 日新离子机器株式会社
IPC分类号： G02F1/13 , H05F3/04 , H01L21/265
摘要： 本发明涉及平面面板显示器制造装置。本发明提供一种平面面板显示器制造装置，其具有适合于在高真空下进行玻璃基板的除电的除电装置。本发明的平面面板显示器制造装置具有：处理室，对于玻璃基板施行加工处理；搬送路，形成玻璃基板往处理室搬入搬出的搬入搬出路径；其中，处理室与搬送路处于真空环境下；且在构成搬送路的真空容器的外壁面连接有除电装置，该除电装置用以朝向真空容器的内侧放出用于进行玻璃基板的除电的电子。
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公开(公告)号：CN107112176A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580073315.1
申请日：2015-10-08
申请人： 日新离子机器株式会社
摘要： 实现离子束引出用电极的维护性提高。离子束引出用电极(E)包括：具有供离子束通过的开口部的电极部(1)、固定支承电极部(1)的支承框(11)，支承框(11)形成有制冷剂流路(12)，并且具有在电极部(1)配置于支承框(11)时在与离子束通过方向大致垂直的面内限制电极部(1)移动的移动限制部(13)。
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公开(公告)号：CN102683144A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110306371.9
申请日：2011-10-11
申请人： 日新离子机器株式会社
摘要： 本发明提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以产生热变形。狭缝电极(1)包括：电极框体(2)，具有开口部(3)；以及多个电极单元(U)，能装拆地安装在电极框体(2)上。各电极单元(U)包括：多根电极棒(5)，并列设置在开口部(3)内；以及一组电极棒支承构件(6)，隔着开口部(3)支承各电极棒(5)的长度方向的端部。
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公开(公告)号：CN108054071B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201711320176.5
申请日：2017-12-12
申请人： 日新离子机器株式会社
发明人： 井内裕
IPC分类号： H01J37/08 , H01J37/244 , H01J37/30
摘要： 本发明提供一种离子源及离子注入装置。利用具备多个阴极的离子源，监控通过各阴极生成的等离子体的密度。离子源(1)是在腔室(2)内部生成等离子体并从该等离子体引出离子束(4)的离子源(1)，离子源(1)具有：腔室(2)，呈在一方向上较长的大致矩形形状；多个阴极(F)，沿着腔室(2)的长度方向排列；弧电源(Va)，连接在腔室(2)与各阴极(F)之间；及电流计，测定弧电源(Va)中流动的电流，弧电源(Va)与腔室(2)之间的连接部分与配置各阴极(F)的部位对应。
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公开(公告)号：CN107993909A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711317954.5
申请日：2017-12-12
申请人： 日新离子机器株式会社
发明人： 井内裕
摘要： 本发明提供一种离子源，能够实现位于漂移方向侧的丝极的长寿命化，并且能够从通过由该丝极所放出的电子生成的等离子体高效地引出离子束。该离子源具备：长条状的等离子体生成容器(10)；多个磁铁(30)，在等离子体生成容器(10)的内部形成会切磁场(B)；及多个第一丝极(40A)，沿着等离子体生成容器(10)的长度方向设置成列状，并插入到等离子体生成容器(10)的内部。由第一丝极(40A)放出的电子从长度方向的一侧朝着另一侧进行ExB漂移，从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述另一侧的第一丝极(40A)的距离(L2b)，比从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述一侧的第一丝极(40A)的距离(L1a)短。
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公开(公告)号：CN102592930B
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201110340962.8
申请日：2011-11-02
申请人： 日新离子机器株式会社
发明人： 井内裕
IPC分类号： H01J37/08
摘要： 本发明提供一种新的离子源，与以往的离子源相比，尽管电极个数少，也具有与以往的离子源相同的功能。本发明的离子源(1)不具有抑制电子从下游一侧(Z方向一侧)流入的抑制电极。离子源(1)包括：多个电极(5、6、7)，沿离子束(3)的引出方向(Z方向)配置；以及磁场产生部件(11)，配置在所述电极(5、6、7)的下游一侧(Z方向一侧)，至少具有一对磁极(20、21)，该一对磁极(20、21)产生横穿从所述离子源(1)引出的所述离子束(3)的磁场。
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公开(公告)号：CN103021772A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210205880.7
申请日：2012-06-18
申请人： 日新离子机器株式会社
摘要： 本发明提供一种电极框体以及具备该电极框体的带电粒子束发生装置，所述带电粒子束发生装置具备由所述电极框体构成的引出电极，所述电极框体及所述带电粒子束发生装置能够改善更换形成狭缝状开口部的电极棒时的工作效率。电极框体（2）构成带电粒子束引出用的电极，具有使带电粒子束通过的开口部（3）。从一个方向观察电极框体（2）时，在电极框体（2）的开口部（3）周围的一部分上形成有电极棒支承部（7），该电极棒支承部（7）支承横跨开口部（3）配置的电极棒（5）的两端。此外，带电粒子束发生装置具备由所述电极框体（2）构成的引出电极。
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公开(公告)号：CN102683143A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201110305123.2
申请日：2011-10-10
申请人： 日新离子机器株式会社
摘要： 本发明提供狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置，当带电粒子束发生装置运转时，使狭缝状开口部的形状难以发生热变形。本发明的狭缝电极(20)包括：电极框体(21)，具有开口部(22)；以及多根电极棒(23)，在长度方向上以能够相对于所述电极框体(21)移动的方式支承于所述电极框体(21)，并且沿与长度方向大致垂直相交的方向并列设置在开口部(22)上。至少在电极框体(21)的开口部(22)外周区域的一部分上设置有制冷剂流路(R)，该制冷剂流路(R)包括：制冷剂流入口(RIN)，使制冷剂流入电极框体(21)；以及制冷剂流出口(ROUT)，使制冷剂从电极框体(21)流出。
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公开(公告)号：CN102592930A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110340962.8
申请日：2011-11-02
申请人： 日新离子机器株式会社
发明人： 井内裕
IPC分类号： H01J37/08
摘要： 本发明提供一种新的离子源，与以往的离子源相比，尽管电极个数少，也具有与以往的离子源相同的功能。本发明的离子源(1)不具有抑制电子从下游一侧(Z方向一侧)流入的抑制电极。离子源(1)包括：多个电极(5、6、7)，沿离子束(3)的引出方向(Z方向)配置；以及磁场产生部件(11)，配置在所述电极(5、6、7)的下游一侧(Z方向一侧)，至少具有一对磁极(20、21)，该一对磁极(20、21)产生横穿从所述离子源(1)引出的所述离子束(3)的磁场。
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