本发明提供一种引出电极系统及狭缝电极，在具有多个狭缝电极的离子源中，引出电流量和控制性取得平衡的离子束。所述的离子源（1）具有多个狭缝电极（7）～（10）作为引出电极系统。狭缝电极（7）～（10）包括具有开口部（15）的电极框体（14）、以及在开口部（15）内排列设置的多个电极棒（16），在构成沿从离子源（1）发生的离子束（2）的行进方向位于最上游的狭缝电极（7）的电极棒（16）中，在相邻的电极棒（16）之间形成的狭缝状开口部（17）的形状沿着离子束（2）的行进方向呈大致锥台形。