发明授权
- 专利标题： 固态图像传感器及其制造方法以及照相机
-
申请号： CN201210375335.2申请日： 2012-09-29
-
公开(公告)号： CN103107176B公开(公告)日： 2015-08-12
- 发明人: 庄山敏弘
- 申请人： 佳能株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 李向英
- 优先权： 2011-222348 2011.10.06 JP
- 主分类号： H01L27/146
- IPC分类号： H01L27/146 ; C23C16/30 ; C23C16/44
摘要：
公开了固态图像传感器及其制造方法以及照相机。具有光电转换部分的固态图像传感器的制造方法包括:使用六氯乙硅烷(Si2Cl6)作为原料气体通过低压化学气相沉积方法形成硅氮化物膜，使得所述硅氮化物膜覆盖所述光电转换部分的至少一部分。
公开/授权文献
- CN103107176A 固态图像传感器及其制造方法以及照相机 公开/授权日：2013-05-15
IPC分类:
