发明公开
- 专利标题: 自对准双极晶体管及其制作方法
- 专利标题(英): Self-alignment bipolar transistor and preparation method thereof
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申请号: CN201110363863.1申请日: 2011-11-16
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公开(公告)号: CN103117299A公开(公告)日: 2013-05-22
- 发明人: 陈帆 , 陈雄斌 , 薛恺 , 周克然 , 潘嘉 , 李昊 , 蔡莹 , 陈曦
- 申请人: 上海华虹NEC电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区川桥路1188号
- 专利权人: 上海华虹NEC电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区川桥路1188号
- 代理机构: 上海浦一知识产权代理有限公司
- 代理商 丁纪铁
- 主分类号: H01L29/73
- IPC分类号: H01L29/73 ; H01L29/417 ; H01L21/331 ; H01L21/28 ; H01L21/265
摘要:
本发明公开了一种自对准双极晶体管,通过发射区窗口介质层定义出发射区窗口和外基区自对准注入区,能实现发射区和外基区之间的良好对准;发射区仅由形成于发射区窗口中的多晶硅组成,能减少发射区和外基区的耦合区域、从而能降低发射区和基区间的寄生电容,最后能提高器件的频率特性和性能。本发明还公开了一种自对准双极晶体管的制作方法,外基区注入为自对准注入,从而能够节省形成外基区的光刻层,降低工艺成本;形成发射区时对发射极多晶硅进行的回刻为全面回刻,也能节省一层光刻掩模板,降低工艺成本和复杂度。
公开/授权文献
- CN103117299B 自对准双极晶体管及其制作方法 公开/授权日:2015-06-03
IPC分类: