发明公开
CN103130178A 电容式微加工超声换能器制造方法及被检体信息获取装置
失效 - 权利终止
- 专利标题： 电容式微加工超声换能器制造方法及被检体信息获取装置
- 专利标题（英）： Method for manufacturing capacitive micromachined ultrasonic transducer and apparatus configured to obtain subject information
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申请号： CN201210493288.1申请日： 2012-11-28
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公开(公告)号： CN103130178A公开(公告)日： 2013-06-05
- 发明人: 中西宏一郎
- 申请人： 佳能株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 魏小薇
- 优先权： 2011-259273 2011.11.28 JP
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00 ; B06B1/02
摘要：
提供一种电容式微加工超声换能器制造方法及被检体信息获取装置。在该方法中，在换能器中提供的腔体通过连通部分与换能器的外部连通的情况下，在单个加热步骤中通过热处理来接合第一绝缘层和振动膜并且通过热氧化来形成第二绝缘层。
公开/授权文献
- CN103130178B 电容式微加工超声换能器制造方法及被检体信息获取装置 公开/授权日：2016-03-09
