Invention Publication
- Patent Title: 锗硅异质结双极晶体管及制造方法
- Patent Title (English): Germanium-silicon heterogenous junction bipolar transistor and manufacturing method thereof
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Application No.: CN201110388997.9Application Date: 2011-11-30
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Publication No.: CN103137678APublication Date: 2013-06-05
- Inventor: 陈帆 , 陈雄斌 , 薛恺 , 周克然 , 潘嘉 , 李昊 , 蔡莹 , 陈曦
- Applicant: 上海华虹NEC电子有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区川桥路1188号
- Assignee: 上海华虹NEC电子有限公司
- Current Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区川桥路1188号
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 丁纪铁
- Main IPC: H01L29/737
- IPC: H01L29/737 ; H01L29/06 ; H01L21/331 ; H01L21/265

Abstract:
本发明公开了一种锗硅异质结双极晶体管,在外基区中包括有以发射区的外侧边缘为自对准边界的自对准注入的锗或碳杂质以及P型杂质。本发明还公开了一种锗硅异质结双极晶体管的制造方法。本发明通过在外基区中注入锗或碳杂质,能减少外基区的P型杂质的横向扩散,从而能减少外基区的宽度,提高器件的最大振荡频率。
Public/Granted literature
- CN103137678B 锗硅异质结双极晶体管及制造方法 Public/Granted day:2015-08-19
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