发明公开
- 专利标题: 用于粘附工件的方法和工件粘附装置
- 专利标题(英): Method for adhering works and work adhering apparatus
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申请号: CN201210511482.8申请日: 2012-12-04
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公开(公告)号: CN103144029A公开(公告)日: 2013-06-12
- 发明人: 小布施敦史 , 寺泽光子
- 申请人: 不二越机械工业株式会社
- 申请人地址: 日本长野县
- 专利权人: 不二越机械工业株式会社
- 当前专利权人: 不二越机械工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本长野县
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 张会华
- 优先权: 2011-266976 2011.12.06 JP
- 主分类号: B24B41/06
- IPC分类号: B24B41/06 ; H01L21/304 ; H01L21/67
摘要:
用于粘附工件的方法和工件粘附装置。该用于粘附工件的方法能够将工件抛光成具有相同的厚度。该用于粘附工件的方法在工件粘附装置中实施,该工件粘附装置包括:加压台;和设置于加压台的上方并且能够彼此独立地靠近和远离加压台地移动的多个加压头。加压台和加压头将工件压到板上并利用粘合剂使工件粘附至板。每个加压头均以相同的压力将对应的一个工件压到板上。
公开/授权文献
- CN103144029B 用于粘附工件的方法和工件粘附装置 公开/授权日:2017-07-07