本发明公开了一种射线探测器及其制作方法。在基板上依次形成栅极层和绝缘层，并在形成有上述绝缘层的基板上形成光电二极管和源漏极层；令该源漏极层的漏极与上述光电二极管相连接，并在上述源漏极层上形成有源层，令该有源层与所述绝缘层相接触；在上述有源层上以及上述源漏极层上形成第一钝化层；在上述光电二极管上，源漏极层上，以及第一钝化层上形成导电薄膜层，并在导电薄膜层上制作第二钝化层。采用本发明技术方案相比现有技术减少了掩膜次数，有效缩短了生产周期，提高了生产效率，降低了制作成本，并且提高射线探测器的灵敏度，减小了射线探测器的功耗。