Invention Publication
CN103165660A 薄膜晶体管及其制造方法
无效 - 驳回
- Patent Title: 薄膜晶体管及其制造方法
- Patent Title (English): Thin film transistor and manufacturing method of thin film transistor
-
Application No.: CN201110413462.2Application Date: 2011-12-13
-
Publication No.: CN103165660APublication Date: 2013-06-19
- Inventor: 李俊 , 周帆 , 林华平 , 张建华 , 蒋雪茵 , 张志林
- Applicant: 上海大学
- Applicant Address: 上海市闸北区延长路149号电机楼301室
- Assignee: 上海大学
- Current Assignee: 上海大学
- Current Assignee Address: 上海市闸北区延长路149号电机楼301室
- Agency: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- Agent 何平
- Main IPC: H01L29/423
- IPC: H01L29/423 ; H01L29/786 ; H01L21/285 ; H01L21/336

Abstract:
本发明涉及一种薄膜晶体管及其制造方法,该薄膜晶体管包括依次设置的基板、第一栅极、绝缘层、有源层、源极、漏极以及第二栅极;所述源极与漏极之间具有背道沟区域所述第二栅极形成在所述背道沟区域。本发明在背道沟区域增加一层第二栅极,采用浮栅结构,控制背沟道区域的电荷分布,从而调节器件的阈值电压,减小薄膜晶体管器件的阈值电压,实现低功耗的氧化物薄膜氧化物显示器件,改善器件的稳定性,降低器件的制作成本。
Information query
IPC分类: