发明公开
- 专利标题: 可切换滤波器和设计结构
- 专利标题(英): Switchable filters and design structures
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申请号: CN201310001517.8申请日: 2013-01-04
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公开(公告)号: CN103187947A公开(公告)日: 2013-07-03
- 发明人: J·W·阿基森 , P·坎德拉 , T·J·邓巴 , J·P·甘比诺 , M·D·贾菲 , A·K·斯塔珀 , R·L·沃尔夫
- 申请人: 国际商业机器公司
- 申请人地址: 美国纽约
- 专利权人: 国际商业机器公司
- 当前专利权人: 思特威(上海)电子科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国纽约
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 于静; 张亚非
- 优先权: 13/342,375 2012.01.03 US
- 主分类号: H03H9/64
- IPC分类号: H03H9/64 ; H03H3/08 ; B81C1/00 ; B81B3/00
摘要:
本发明公开了可切换和/或可调谐的滤波器、制造方法和设计结构。形成滤波器的方法包括形成至少一个压电滤波器结构,所述至少一个压电滤波器结构包括在压电基底上形成的多个电极。该方法还包括形成微机电结构(MEMS),所述MEMS包括在所述压电基底上方且在如下位置处形成的MEMS梁:在该位置中,所述MEMS梁在致动时通过接触所述多个电极中的至少一个来短接所述压电滤波器结构。
公开/授权文献
- CN103187947B 可切换滤波器和设计结构 公开/授权日:2016-08-24