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液体喷出头及其制造方法
摘要:
液体喷出头及其制造方法。一种液体喷出头的制造方法,包括下述步骤:(1)在基板的第二表面形成凹部以形成共用供给口,(2)形成蚀刻掩模,蚀刻掩模规定独立供给口的在共用供给口的底面的开口位置,以及(3)在采用蚀刻掩模作为掩模的状态下使用等离子体进行离子蚀刻,由此形成独立供给口。蚀刻掩模中形成的开口图案使得从喷出能量产生元件到与该喷出能量产生元件邻近的两个独立供给口的在基板的第一表面侧的开口的各自的距离彼此相等。
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