发明公开
CN103213398A 液体喷出头及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 液体喷出头及其制造方法
- 专利标题(英): Liquid ejection head and method of manufacturing same
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申请号: CN201310024376.1申请日: 2013-01-23
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公开(公告)号: CN103213398A公开(公告)日: 2013-07-24
- 发明人: 久保田雅彦 , 土井健 , 樱井将贵 , 中川喜幸 , 齐藤亚纪子 , 岸川慎治 , 柬理亮二 , 寺崎敦则 , 冈野明彦 , 平本笃司
- 申请人: 佳能株式会社
- 申请人地址: 日本东京都大田区下丸子3丁目30番2号
- 专利权人: 佳能株式会社
- 当前专利权人: 佳能株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都大田区下丸子3丁目30番2号
- 代理机构: 北京魏启学律师事务所
- 代理商 魏启学
- 优先权: 2012-011857 2012.01.24 JP
- 主分类号: B41J2/16
- IPC分类号: B41J2/16 ; B41J2/135
摘要:
液体喷出头及其制造方法。一种液体喷出头的制造方法,包括下述步骤:(1)在基板的第二表面形成凹部以形成共用供给口,(2)形成蚀刻掩模,蚀刻掩模规定独立供给口的在共用供给口的底面的开口位置,以及(3)在采用蚀刻掩模作为掩模的状态下使用等离子体进行离子蚀刻,由此形成独立供给口。蚀刻掩模中形成的开口图案使得从喷出能量产生元件到与该喷出能量产生元件邻近的两个独立供给口的在基板的第一表面侧的开口的各自的距离彼此相等。
公开/授权文献
- CN103213398B 液体喷出头及其制造方法 公开/授权日:2015-06-17
IPC分类: