- 专利标题: 一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置和方法
- 专利标题(英): Purging device and method for keeping cleanliness of laser transmission optical system
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申请号: CN201310156290.4申请日: 2013-04-28
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公开(公告)号: CN103230901B公开(公告)日: 2015-02-04
- 发明人: 卢礼华 , 曹永智 , 于福利 , 张庆春 , 梁迎春
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构: 哈尔滨市松花江专利商标事务所
- 代理商 牟永林
- 主分类号: B08B5/02
- IPC分类号: B08B5/02 ; B08B13/00
摘要:
一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置和方法,它涉及一种物理光学技术领域的洁净度保持装置和方法。本发明解决了激光传输光学系统中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤问题。阶梯式布置的上节流板和下节流板上设置有相互连通的进气口和冲扫气口,下节流板设在透镜系统的正下方,排气口设在排气罩的顶面上,排气罩系统设在光学系统上端,上节流板设在光学系统内,下节流板设在光学系统下端。洁净气体由上节流板和下节流板按照特定进气流量进入光学系统内部,气体经过透镜系统时对透镜表面及附近空间实现冲扫效果,使污染物随冲扫气体经排气罩系统排出光学系统内部。本发明用于保持激光传输光学系统中洁净度。
公开/授权文献
- CN103230901A 一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置和方法 公开/授权日:2013-08-07