Invention Publication
- Patent Title: 基于控制离子注入的能量来制备石墨烯的方法
- Patent Title (English): Method for preparing grapheme on basis of controlling ion implantation energy
-
Application No.: CN201210026563.9Application Date: 2012-02-07
-
Publication No.: CN103247520APublication Date: 2013-08-14
- Inventor: 狄增峰 , 王刚 , 张苗 , 陈达 , 叶林 , 郭庆磊 , 丁古巧 , 谢晓明
- Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Applicant Address: 上海市长宁区长宁路865号
- Assignee: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Current Assignee: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Current Assignee Address: 上海市长宁区长宁路865号
- Agency: 上海光华专利事务所
- Agent 李仪萍
- Main IPC: H01L21/265
- IPC: H01L21/265 ; H01L21/02

Abstract:
本发明提供一种基于控制离子注入的能量来制备石墨烯的方法。根据本发明的方法,首先,基于至少一种注入能量向催化衬底注入碳离子;随后,对已注入碳离子的催化衬底进行退火处理以使注入的碳离子析出,并在所述催化衬底表面形成至少一层石墨烯薄膜层;最后,去除所述已形成至少一层石墨烯薄膜层的结构的催化衬底以获得至少一层石墨烯薄膜层。本法所制备出的石墨烯薄膜质量好、尺寸大、且层数可控;相比于SiC升华法,本法制备的石墨烯易于转移;相比与化学气相沉积法,本法制备的石墨烯层数可控。
Information query
IPC分类: