发明授权
摘要：
多轴支撑气浮平台，属于超精密仪器设备平台技术领域。本发明为解决为了解决现有支撑平台的调平状态受限，应用范围狭窄的问题。它包括承载平台，M条支撑腿、M个气浮筒和M个气足，M为3、4、5、6、7或8，承载平台为圆形平台，承载平台由M条支撑腿支撑，M条支撑腿与承载平台下表面的M个连接点构成M边形；每条支撑腿的末端连接一个气浮筒，每个气浮筒的底端通过气浮球轴承连接一个气足。本发明作为一种支撑平台。
公开/授权文献
- CN103277644A 多轴支撑气浮平台 公开/授权日：2013-09-04
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