硅纳米线阵列的移植及其简单器件制备的方法
摘要:
本发明公开了一种硅纳米线阵列的移植及其简单器件制备的方法,利用清洁硅片上制备的多孔银膜作为催化金属,通过在氢氟酸/双氧水中蚀刻来制备硅纳米线阵列,高温水蒸气下氧化形成硅-氧化硅核壳结构,再放入高温氨水溶液中,通过氧化硅阻挡-银辅助氨水蚀刻,制备出与硅衬脱附的硅纳米线阵列结构。再利用表面涂有粘性物质的目标衬底来实现纳米线阵列移植;或使用绝缘物质来固定和支撑硅纳米线阵列及作为中间绝缘层,把硅纳米线阵列移植到表面涂有导电粘性物质的柔性衬底,再覆盖另一层导电物质,制备出简单的柔性的具有良好欧姆接触的导通电路器件。方法操作简单,成本低,可用于大规模生产。
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