插柱和穿透互连方式
摘要:
本发明公开了插柱和穿透互连方式。一种物理地和电气地互连两个芯片的方法,包括:将第一芯片上的导电触点与第二芯片上对应的导电触点对准,该第一芯片的导电触点为刚性材料,该第二芯片的导电触点为与该刚性材料相对的韧性材料;使对准的该第一芯片上的导电触点与该第二芯片上相应的导电触点接触;将该第一和第二芯片的触点提高至低于至少该刚性材料的液化温度,同时向该第一和第二芯片施加足够的压力,以使该刚性材料穿透该韧性材料从而形成两者之间的导电连接;以及在形成导电连接之后,冷却该第一和第二芯片的触点至环境温度。
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