静电释放保护结构及其制造方法
摘要:
本发明涉及一种静电释放保护结构,包括:衬底,具有第一导电类型;阱区,具有第二导电类型;衬底接触区,设于衬底内,具有第一导电类型;阱区接触区,设于阱区内,具有第二导电类型;衬底反掺杂区,位于衬底接触区和阱区接触区之间,具有第二导电类型;阱区反掺杂区,位于衬底接触区和阱区接触区之间,具有第一导电类型;连通区,设于衬底和阱区的横向交界处;第一隔离区,处于衬底反掺杂区和连通区之间;第二隔离区,处于阱区反掺杂区和连通区之间;氧化层,一端设于第一隔离区上,另一端设于衬底上;场板结构,设于氧化层上。本发明还涉及一种静电释放保护结构制造方法。本发明可通过调节场板结构的宽度和位置来调整开启电压。
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