发明公开
- 专利标题: 静电释放保护结构及其制造方法
- 专利标题(英): Electrostatic discharge protection structure and manufacturing method thereof
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申请号: CN201210130387.3申请日: 2012-04-28
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公开(公告)号: CN103378087A公开(公告)日: 2013-10-30
- 发明人: 胡勇海 , 代萌 , 林忠瑀 , 汪广羊
- 申请人: 无锡华润上华半导体有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号
- 专利权人: 无锡华润上华半导体有限公司
- 当前专利权人: 无锡华润上华科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 邓云鹏
- 主分类号: H01L27/02
- IPC分类号: H01L27/02 ; H01L21/82
摘要:
本发明涉及一种静电释放保护结构,包括:衬底,具有第一导电类型;阱区,具有第二导电类型;衬底接触区,设于衬底内,具有第一导电类型;阱区接触区,设于阱区内,具有第二导电类型;衬底反掺杂区,位于衬底接触区和阱区接触区之间,具有第二导电类型;阱区反掺杂区,位于衬底接触区和阱区接触区之间,具有第一导电类型;连通区,设于衬底和阱区的横向交界处;第一隔离区,处于衬底反掺杂区和连通区之间;第二隔离区,处于阱区反掺杂区和连通区之间;氧化层,一端设于第一隔离区上,另一端设于衬底上;场板结构,设于氧化层上。本发明还涉及一种静电释放保护结构制造方法。本发明可通过调节场板结构的宽度和位置来调整开启电压。
公开/授权文献
- CN103378087B 静电释放保护结构及其制造方法 公开/授权日:2016-02-24
IPC分类: