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发明公开
CN103489896A 氮化镓基半导体器件及其制造方法 有权

氮化镓基半导体器件及其制造方法
摘要：
本发明公开了一种氮化镓基半导体器件及其制造方法。所述氮化镓基半导体器件包括同时掺杂有相对较高浓度的硼（B）和锗（Ge）的硅基衬底、所述硅基衬底上的缓冲层、以及所述缓冲层上的氮化物叠层。硼（B）和锗（Ge）的掺杂浓度可以大于1×1019/cm3。
摘要（英）：

A gallium nitride based semiconductor device includes a silicon-based layer doped simultaneously with boron (B) and germanium (Ge) at a relatively high concentration, a buffer layer on the silicon-based layer, and a nitride stack on the buffer layer. A doping concentration of boron (B) and germanium (Ge) may be higher than 11019/cm3.

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