制造半导体衬底的方法以及用于半导体生长的衬底

    公开(公告)号:CN106206863B

    公开(公告)日:2018-12-14

    申请号:CN201610364734.7

    申请日:2016-05-27

    摘要: 提供了制造半导体衬底的方法以及用于半导体生长的衬底。所述制造半导体衬底的方法可以包括:在生长衬底上形成缓冲层;在所述缓冲层中形成多个开口,所述多个开口穿过所述缓冲层并且彼此分隔开;在所述生长衬底上形成多个腔,所述多个腔排列为分别对应于所述多个开口;在所述缓冲层上生长半导体层,生长所述半导体层包括用所述半导体层填充所述多个开口;以及将所述缓冲层和所述半导体层从所述生长衬底分离,其中所述生长衬底与所述缓冲层之间的分界处的所述多个开口中的每一个的直径小于所述分界处的所述多个腔中的每一个的直径。

    半导体器件以及在该半导体器件中使用的超晶格层

    公开(公告)号:CN103489898A

    公开(公告)日:2014-01-01

    申请号:CN201310157632.4

    申请日:2013-05-02

    IPC分类号: H01L29/15

    摘要: 本发明提供一种半导体器件以及在该半导体器件中使用的超晶格层。该半导体器件包括:硅衬底;氮化物成核层,设置在硅衬底上;至少一个超晶格层,设置在氮化物成核层上;以及至少一个镓氮化物基半导体层,设置在超晶格层上,其中至少一个超晶格层通过重复地堆叠复合层而形成,每个复合层包括具有不同组分的多个氮化物半导体层,其中多个氮化物半导体层的至少之一根据堆叠位置而具有不同的厚度,至少一个应力控制层设置在多个氮化物半导体层之间或者设置在重复地堆叠的复合层之间,至少一个应力控制层具有超过假晶生长的临界厚度的厚度。