一种LED芯片电极的制作方法、LED芯片及LED
摘要:
本发明提供一种焊线成本低,焊点可靠的LED芯片电极的制作方法,包括在制作好的LED外延片的部分区域上刻蚀P型半导体层、发光层至负N型半导体层,蚀刻显露的N型半导体层形成N型电极区,未被蚀刻的P型半导体区域形成P型电极区;1)在所述P型电极区上需要制作电极的区域镀上于P型半导体层非奥姆接触的第一电极接触层;2)在所述电极接触层上镀上电流阻挡层;3)在P型电极区上,未被上述电极接触层和电流阻挡层覆盖的区域镀上电流扩散层;4)在电流阻挡层上镀上与电流扩散层欧姆接触的金属第二电极接触层;5)在所述第二电极接触层上镀上第三电极接触层;6)在第三电极接触层上采用化学方法镀上材料为金的电极焊线层。
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