本发明涉及一种独立式五自由度超精密材料原位测试显微观测台，属于精密科学显微观测仪器。该平台由X、Y、Z轴精密移动组件、X、Z轴转动组件、X、Y、Z轴柔性铰链式超精密跟随组件、超景深镜头组成。X、Y、Z轴精密移动组件、X、Z轴转动组件可分别对超景深镜头距观测试件的X、Y、Z方向相对位置及相对角度进行精密调整；X、Y、Z轴柔性铰链式超精密跟随组件可实现X、Y、Z方向相对于载荷下微震动中试件的主动跟随,Y轴超精密跟随组件还可辅助超景深镜头变焦。超景深镜头用于对试件围观表面形貌进行超景深观测。优点在于：体积精巧、精密驱动、跟随效果好、集成性高，实用性强，既可以独立使用又可以和其他设备组合使用。