发明授权
CN103575213B 光学测量装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 光学测量装置
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申请号: CN201210281702.2申请日: 2012-08-09
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公开(公告)号: CN103575213B公开(公告)日: 2016-06-29
- 发明人: 吴文镜 , 李国光 , 张瑭 , 沙健 , 刘健鹏
- 申请人: 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所,北京智朗芯光科技有限公司
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所,北京智朗芯光科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构: 北京华沛德权律师事务所
- 代理商 刘丽君
- 主分类号: G01B11/00
- IPC分类号: G01B11/00 ; G01B11/06 ; G01B11/24 ; G01N21/00
摘要:
本发明公开光学测量装置,其包括测量仪本体、光源、具有至少5端口的W形光纤及光谱仪;本发明操作简单,提供的光学测量装置包含垂直入射和斜入射的两个测量装置,可用来测量单层或多层薄膜形成的三维结构的膜厚、临界尺度(Critical Dimension)、空间形貌和材料特性,提高了样品测量的精度。另外,垂直入射部分还可以倾斜至54.7度,用来测量单晶硅太阳能样品。斜入射部分也可实现多角度的切换,摩擦片可以使整个切换工程更加平稳。
公开/授权文献
- CN103575213A 光学测量装置 公开/授权日:2014-02-12