发明公开
- 专利标题: 清洗液流量控制系统及控制方法
- 专利标题(英): Cleaning fluid flow control system and cleaning fluid flow control method
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申请号: CN201210290586.0申请日: 2012-08-15
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公开(公告)号: CN103592979A公开(公告)日: 2014-02-19
- 发明人: 王坚 , 赵宇 , 谢良智 , 张晓燕 , 贾社娜 , 王晖
- 申请人: 盛美半导体设备(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号4幢
- 专利权人: 盛美半导体设备(上海)有限公司
- 当前专利权人: 盛美半导体设备(上海)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号4幢
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 陆嘉
- 主分类号: G05D27/02
- IPC分类号: G05D27/02 ; H01L21/67
摘要:
本发明揭示了一种清洗液流量控制系统,包括:清洗液流经的控制阀;压力传感器,测量流经控制阀的清洗液的压力并输出压力值;控制器,接收压力传感器输出的压力值并将该压力值与目标压力值比较,根据比较结果产生并发送电流信号,若压力值大于目标压力值,发送较小的电流信号,若该压力值小于目标压力值,发送较大的电流信号;I/P转换器,接收控制器输出的电流信号并向控制阀输送具有相应压力的压缩空气,接收到较小的电流信号时,I/P转换器降低输送给控制阀压缩空气的压力,接收到较大的电流信号时,I/P转换器增大输送给控制阀压缩空气的压力;测量清洗液的流速的流量开关;及调节清洗液的流速的针阀。本发明还公开了清洗液流量控制方法。
公开/授权文献
- CN103592979B 清洗液流量控制系统及控制方法 公开/授权日:2018-09-04