可变电阻元件及其制造方法
摘要:
本发明提供一种不需进行成型处理,就能够降低元件的电力消耗及实现精细化的可变电阻元件及其制造方法。本发明的一个实施方式中,可变电阻元件(1)具有下部电极层(3)、上部电极层(5)及氧化物半导体层(4)。氧化物半导体层(4)形成在下部电极层(3)和上部电极层(5)之间。氧化物半导体层(4)具有第1金属氧化物层(41)和第2金属氧化物层(42)。第1金属氧化层(41)与下部电极层(3)欧姆接合。第2金属氧化物层(42)形成在第1金属氧化层(41)和上部电极层(5)之间,并与上部电极层(5)欧姆接合。
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