- 专利标题： 微机电声音探测装置以及用于制造该装置的方法
-
申请号： CN201280019024.0申请日： 2012-02-20
-
公开(公告)号： CN103609141B公开(公告)日： 2017-10-13
- 发明人: J·策林 , U·肖尔茨 , R·埃伦普福特
- 申请人： 罗伯特·博世有限公司
- 申请人地址： 德国斯图加特
- 专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人： 罗伯特·博世有限公司
- 当前专利权人地址： 德国斯图加特
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 臧永杰; 胡莉莉
- 优先权： 102011007604.2 20110418 DE
- 国际申请： PCT/EP2012/052831 2012.02.20
- 国际公布： WO2012/143151 DE 2012.10.26
- 进入国家日期： 2013-10-17
- 主分类号： H04R19/00
- IPC分类号： H04R19/00 ; H04R19/04 ; H04R31/00
摘要：
本发明涉及微机电声音探测装置，包括衬底，壳体，至少一个用于声音穿过的开口和用于拾取声音的微机电元件，其中壳体借助模制被构造用于作为空腔提供前容积和后容积用于通过微机电元件探测声音。本发明同样涉及用于制造微机电声音探测装置的方法以及声音探测装置的应用。
公开/授权文献
- CN103609141A 微机电声音探测装置以及用于制造该装置的方法 公开/授权日：2014-02-26
