发明公开
- 专利标题: 碳化硅单晶、碳化硅晶片和半导体器件
- 专利标题(英): Sic single crystal, Sic wafer, and semiconductor device
-
申请号: CN201280023709.2申请日: 2012-05-16
-
公开(公告)号: CN103635615A公开(公告)日: 2014-03-12
- 发明人: 郡司岛造 , 浦上泰 , 安达步
- 申请人: 株式会社电装 , 丰田自动车株式会社
- 申请人地址: 日本爱知县
- 专利权人: 株式会社电装,丰田自动车株式会社
- 当前专利权人: 株式会社电装
- 当前专利权人地址: 日本爱知县
- 代理机构: 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 陈建全
- 优先权: 2011-109773 2011.05.16 JP
- 国际申请: PCT/JP2012/062448 2012.05.16
- 国际公布: WO2012/157654 JA 2012.11.22
- 进入国家日期: 2013-11-15
- 主分类号: C30B29/36
- IPC分类号: C30B29/36 ; H01L29/161
摘要:
本发明为具有基底面位错的直线性高并且基底面位错向结晶学上等价的三个 方向取向的一个或两个以上的取向区域的碳化硅单晶以及由这样的碳化硅单晶制造的碳化硅晶片和半导体器件。这样的碳化硅单晶能够通过使用{0001}面最顶部侧的偏斜角小并且偏斜方向下游侧的偏斜角大的籽晶而使新的晶体在该籽晶上生长来制造。
公开/授权文献
- CN103635615B 碳化硅单晶、碳化硅晶片和半导体器件 公开/授权日:2016-06-01