发明授权
- 专利标题： 从静电卡盘去除损坏的环氧树脂的方法
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申请号： CN201310431916.8申请日： 2013-09-22
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公开(公告)号： CN103681415B公开(公告)日： 2017-01-11
- 发明人: 石洪 , 黄拓川 , 方言 , 克里夫·拉克鲁瓦 , 尼尔·牛顿 , 里什·查特里
- 申请人： 朗姆研究公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人： 朗姆研究公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海胜康律师事务所
- 代理商 李献忠
- 优先权： 13/624,822 2012.09.21 US
- 主分类号： H01L21/67
- IPC分类号： H01L21/67
摘要：
本发明涉及从静电卡盘去除损坏的环氧树脂的方法，具体提供了一种从静电卡盘去除环氧树脂带的方法，该方法包括将所述静电卡盘固定在维修装置中；将热源施加到所述环氧树脂带以使将所述环氧树脂带固定到所述静电卡盘上的多个黏附接合部断裂；在所述环氧树脂带中形成孔；以及将所述环氧树脂带从所述静电卡盘拉走。本发明还描述了一种用于从静电卡盘去除环氧树脂带的系统。
公开/授权文献
- CN103681415A 从静电卡盘去除损坏的环氧树脂的方法 公开/授权日：2014-03-26
IPC分类:
